磷烷气体
Phosphine 磷烷（PH3）
Total Purity 纯度≥99.999%
气相杂质Vapor Phase Impurities
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Contaminants杂质 |
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Specifications规格 |
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Ar |
Argon氩 |
＜100ppb |
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CO2 |
Carbon Dioxide二氧化碳 |
＜100ppb |
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CO |
Carbon Monoxide一氧化碳 |
＜100ppb |
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AsH3 |
Arsine砷 |
＜2.0ppm |
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N2 |
Nitrogen氮气 |
＜3.0ppm |
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C2H6 |
Ethane乙烷 |
＜100ppb |
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C3H8 |
Propane丙烷 |
＜100ppb |
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O2 |
Oxygen氧 |
＜1.0ppm |
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THC |
Total Hydrocarbon碳氢化合物 |
＜1.0ppm |
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H2O |
Moisture水 |
＜1.0ppm |
包装规格Standard Package Information
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Cylinder Type气瓶规格 |
44L |
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Fill Weight充装量 |
13.6kg |
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Valve Connection阀门 |
CGA-350 |
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