二氯二氢硅
Dichlorosilane 二氯二氢硅（SiH2Cl2）
Total Purity 纯度≥99.7%
气相杂质Vapor Phase Impurities
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Contaminants杂质 |
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Specifications规格 |
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Inert gases |
惰性气体 |
＜1000ppm |
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Monochlorosilane |
一氯甲硅烷 |
＜800ppm/w |
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Trichlorosilane |
三氯氢硅 |
＜2000ppm/w |
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Silicon Tetrachloride |
四氯化硅 |
＜300ppm/w |
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Carbon |
碳 |
＜0.05ppm/w |
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Aluminium |
铝 |
＜0.04ppm/w |
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Arsenic |
砷 |
＜0.03ppm/w |
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Boron |
硼 |
＜0.02ppm/w |
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Lron |
铁 |
＜3ppb/w |
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Phsophorus |
磷 |
＜0.05ppb/w |
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O |
氧 |
＜1ppm |
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Resistivity |
电阻系数 |
＞400 ohm-cm |
包装规格Standard Package Information
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Cylinder Type气瓶规格 |
44L |
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Fill Weight充装量 |
90/50/10 |
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Valve Connection阀门 |
CGA-678 |
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