电子混合气体
电子混合气体
气体组分和用途
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组分气体 |
平衡气 |
用途 |
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硅烷SiH4 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
外延（生长） |
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四氟化碳CF4 |
氧O2 |
常用蚀刻 |
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乙硼烷B2H6等 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
掺杂P气 |
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磷烷PH3等 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
掺杂N气 |
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磷烷PH3 |
硅烷SiH4 |
其他 |
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乙硼烷B2H6 |
硅烷SiH4 |
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硅烷SiH4 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
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乙硼烷B2H6 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
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磷烷PH3 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
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砷烷AsH3 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
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锗烷GeH4 |
氦He、氩Ar、氢H2、氮N2 |
包装规格 Standard Package Information
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气瓶规格 |
4L、8L、40L、44L |
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充装量 |
压力和重量不定 |
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阀门 |
CGA-350/330、QF-21 |
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南京特种气体厂股份有限公司 南京特种气体厂股份有限公司创建于一九九三年，为江苏省高新技术企业，也是华东地区最大的瓶装气体生产企业。公司位于江苏省南京市空港工业园，交通便捷。公司在安徽省合肥市、马鞍上市，江苏省连云港市、扬州市，淮安市，南京市的六合区、溧水区、江宁区建有10个工厂、分公司及供气站，2009年以南京特种气体厂有限公司为主体组建南京晨虹特气集团。总公司占地55000平方米...查看详情>> |
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